等离子体处理的基础知识——什么是等离子体?

在 20 世纪 50 年代以前,人们认为物质只有三种存在形式,即:固体、液体和气体。后来,一位丹麦工程师发现了等离子体,刷新了人们的认知。那么,什么是等离子体?

什么是等离子体和等离子体处理?

等离子体是以离子和电子的形式存在的物质。基本上,它是一种带电的气体,带有自由移动的负态和正态电子。

这种情况实际上是气体进一步获得能量,导致带负电的电子从原子核中游离出来的结果。

从更深层次来说,等离子体是一种被部分电离的气体。它是中性原子、原子离子、电子、分子离子和分子的混合物,以激发态和基态存在。因此,电荷(正电荷与负电荷)相互平衡,而这些电荷中有不少是电中性的。

等离子体中的带电粒子,使等离子体具有高导电性。由于等离子体是由电子、分子或中性气体原子、正离子、紫外光与受激气体分子和原子一起组成的,所以它蕴涵大量的内能。这些分子、离子和原子聚集在一起,并与某个表面相互作用,这就是等离子体处理。

通过选择气体混合物、压力、功率等,可以指定或者精确调整任何表面的等离子体处理效果。

等离子体处理如何进行

等离子体处理通常在一个抽空的腔室或外壳中进行(真空等离子体)。先将腔内或外壳内的空气抽出,再送入气体。

气体在外壳中以低压流动,然后注入能量(电力)。需要指出的是,低温等离子体处理技术可以轻松处理热敏感材料。

这种等离子体又被称为“冷等离子体”。等离子体处理主要用于清洗、表面活化、沉积和蚀刻。如果您想详细了解等离子体蚀刻(plasma etch),建议阅读我们的相关文章。有关等离子体清洗及其用途的文章,请点击此处。

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表面预处理

在工业领域,等离子体处理可以用于各种材料的表面处理,以供涂层、印刷或粘合。因此,它是一种表面预处理技术。等离子体处理可以去除材料表面的外来污染物,为进一步加工做准备。像塑料这样质地光泽的材料,除非经过处理,否则其表面的印刷物或涂层很容易脱落。

塑料是由聚丙烯制成的,具有同极性,因此不易粘合。

在这种表面实施等离子体处理,就可以达到有效的表面活化预处理效果,以便进行接下来的涂胶、印刷或上漆。同样,陶瓷和玻璃等材料也可以使用等离子体处理。通常,工业氧作为一种工艺气体用于等离子体处理,因此得名”氧等离子体”。

大气空气也被用于许多等离子体表面处理中,称为大气等离子体。根据不同的材料类型,处理效果可以保持几分钟至数月不等。

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